تترااتیل ارتوسیلیکات، همچنین به عنوان تتراتوکسی سیلان (TEOS) شناخته می شود، یک ترکیب آلی است که با فرمول Si(OC2H5)4 نشان داده می شود. این مایع بی رنگ با قرار گرفتن در معرض آب دچار تخریب می شود. TEOS به عنوان اتیل استر اسید ارتوسیلیک، Si(OH)4 عمل می کند و به طور گسترده ای به عنوان آلکوکسید سیلیکون غالب شناخته می شود.